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田明;
无;
硅; 可见发光; 氢注入; 退火; 发光;
机译:注入和退火参数对硅热注入产生的光致发光的影响
机译:注入后退火温度对通过硼离子注入n-Si制备的硅发光二极管性能的影响
机译:通过等离子浸没离子注入(PIII)对退火的多孔硅注入氮的光致发光和反射率测量
机译:注入后退火过程中氢和氦注入硅中缺陷形成的低温光致发光特性
机译:离子注入硅的感受器辅助微波退火。
机译:通过射频磁控溅射生长的富硅Al2O3膜:结构和光致发光特性与退火处理的关系
机译:多次硅注入氮化硅薄膜电致发光的热退火演变
机译:退火硅注入砷化镓的深度分辨阴极发光研究
机译:使用溅射金属沉积,金属离子注入或硅注入以及激光退火为CMOS器件生产双栅极(一种金属和一种多晶硅或金属硅化物)的方法
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