用于FEA场发射微尖表面的硅化物薄膜

摘要

一些硅的化合物具有良好的场发射特性，如果用作FEA发射微尖表面的薄膜，将能较好地提高FEA的发射特性。本文对这一类硅化物的制作、测量与性能作了说明。