金刚石镶嵌非晶碳膜表面微尖对场致发射的增强作用

摘要

用微波等离子体化学气相沉积设备，在金属钼衬底上沉积出了表面存在大量微尖的金刚石镶嵌非晶碳膜，分别用扫描电子显微镜（ＳＥＭ）、金相显微镜和Ｘ射线衍射谱（ＸＲＤ）及Ｒａｍ ａｎ谱对样品进行了分析测试，并研究了各样品的场致电子发射特性。结果发现：在笔者的实验范围内，金刚石薄膜表面微尖对场致电子发射具有增强作用，且薄膜表面微尖数目越多，场发射电流密度和发射点密度越高，场发射的发射阈值越低。