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第一章前 言
1.1微型真空传感器的发展概况
1.2本研究课题的提出背景
1.3本文的研究目标与主要工作
第二章场发射真空传感器的设计
2.1场致发射原理与传感器工作机制
2.2场发射真空传感器的结构设计
2.2.1场发射真空传感器的结构
2.2.2阴极发射材料以及阳极衬底材料的选取
2.2.3硅尖阵列的设计
2.2.4阴阳极间距的设计
第三章场发射真空传感器的制作工艺
3.1工艺流程的设计
3.2掩模图形的设计
3.3阴极硅尖阵列的制作
3.3.1支撑台制作的实验过程
3.3.2硅尖阵列制作的实验过程
3.4金属阳极的制作工艺
3.5键合以及阴极引出电极的制作
3.6带栅极硅尖阵列的制备
3.6.1平面栅极技术带栅极硅尖阵列的制备方法
3.6.2无版光刻技术制备带栅极硅尖阵列
3.6.3自对准技术制备带栅极硅尖阵列
第四章场发射真空传感器的测试与分析
4.1传感器的Ⅰ-Ⅴ特性测试
4.2真空传感器性能测试系统的搭建
4.3场发射电流迟滞与衰减现象测试
4.4不同真空度下的输入-输出特性测试
4.5传感器输出电流与真空度之间的关系
第五章总结与展望
5.1总结
5.2展望
参考文献
致谢
硕士期间科研成果