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陈小锰; 邓新绿; 张治国; 刘天伟; 丁万昱; 徐军;
大连理工大学三束材料改性国家重点实验室;
等离子体特性; ECR; 等离子体增强化学气相沉积; 微波; 膜性能; 等离子体密度; 结构和性能; DLC膜; 均方根粗糙度; 电子温度; 类金刚石膜; 工艺研究; 工作气压; 沉积条件; 变化曲线; 拉曼光谱; 探针法; CH4; 表面;
机译:氮在ECR微波等离子体CVD沉积DLC膜中的影响
机译:碰撞离子能量对微波Ecr等离子体Cvd沉积DLC薄膜键合和力学性能的影响
机译:ECR辅助微波等离子体氮化处理对FCVA沉积超薄ta-C膜在高密度磁存储应用中微观结构特性的影响
机译:直径25厘米的微波多尖端ECR等离子体反应器中的等离子体特性与蚀刻性能的相关性
机译:用微波ECR等离子体反应器沉积氢化非晶碳膜的膜性能和沉积过程的研究。
机译:软X射线照射对含氢Si的DLC膜膜性能的影响
机译:用微波ECR等离子体CVD沉积金刚石等碳膜的光学和力学性能
机译:ORNL微波ECR多尖峰等离子体离子源的特性和潜在应用。
机译:ECR微波等离子体沉积类金刚石膜
机译:ECR方法和装置,用于在电子回旋共振ECR域中产生微波能量激发的等离子体,以进行表面处理或在丝状元件周围进行涂层
机译:微波电子回旋加速器电子共振(ECR)离子源,具有大,均匀分布,轴向对称的ECR等离子体体积
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