机译:等离子体蚀刻过程的动力学研究。二。射频等离子体蚀刻反应器中电子性质的探针测量
机译:磁-微波等离子体刻蚀反应器中稀有气体流动结构和刻蚀气体通风的直接模拟蒙特卡罗分析
机译:用于200毫米直径晶圆的微波等离子刻蚀设备
机译:25厘米直径微波多尖ECR等离子体反应器中等离子体性能和蚀刻性能的相关性
机译:用微波ECR等离子体反应器沉积氢化非晶碳膜的膜性能和沉积过程的研究。
机译:微波辅助碳浴法及随后的等离子刻蚀法将FeCo合金原位固定在掺氮碳上的有效氧还原反应性能
机译:通过微波助剂碳浴法和随后的等离子体蚀刻对氮气掺杂碳的原位锚定的有效氧气还原性能。和随后的等离子体蚀刻
机译:ECR Cl(sub 2)/ CH(sub 4)/ H(sub 2)/ ar等离子体中GaN,alN和InN的高速干蚀刻