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陆中; 陈杨;
江苏工业学院材料科学与工程学院;
化学机械抛光; 抛光浆料; 复合磨料;
机译:作为Cu / Co / TaN屏障衬垫堆叠在H2O2的碱性浆料中的化学机械抛光剂作为化学机械抛光的络合剂
机译:单晶金刚石化学机械抛光的新型浆料
机译:用于磷酸锆和氧化铝的杂种磨料的铝合金高性能化学机械抛光浆料
机译:Cu CMP(化学机械抛光)浆料对通过硅通孔(TSV),再分布层和Cu暴露的Cu CMP(化学机械抛光)的影响
机译:胶态二氧化硅化学机械抛光浆料中的剪切增稠。
机译:浆料组成对金刚石薄膜化学机械抛光的影响
机译:碳化硅的化学机械抛光
机译:使用化学机械抛光浆料的化学机械抛光方法,以及该浆料
机译:用于抛光相变存储器件的化学机械抛光浆料组合物以及使用该化学机械抛光浆料组合物的抛光相变存储器件的方法
机译:用于化学机械抛光的浆料组合物以及使用该浆料组合物的化学机械抛光的方法
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