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铜; 抛光浆料; 氧化剂; 配合剂; 磨料; 氮化钛;
机译:没食子酸作为络合剂,用于中性pH的铜化学机械抛光浆料
机译:用于微电子制造的硝酸肼基浆料中铜化学机械抛光(CMP)的表征
机译:用于化学机械抛光铜的γ-氧化铝浆料的稳定化
机译:用于低缺陷铜镶嵌化学机械抛光的势垒金属浆料
机译:使用基于纳米颗粒的浆料对铜进行化学机械抛光。
机译:浆料组成对金刚石薄膜化学机械抛光的影响
机译:氧化剂添加剂对钨浆料铜化学机械抛光性能的影响
机译:用于碳基材料的抗氧化浆料涂层
机译:适用于铜基材的化学机械抛光浆料
机译:用于铜/钽基材的化学机械抛光浆料
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