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机译:用于磷酸锆和氧化铝的杂种磨料的铝合金高性能化学机械抛光浆料
Southern Univ Sci & Technol Dept Mat Sci & Engn Shenzhen 518055 Guangdong Peoples R China;
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Chemical mechanical polishing; Polishing mechanism; Zirconium phosphate; Aluminum oxide; Hybrid abrasives;
机译:改善氧化铝和二氧化硅混合磨料浆料的氧化物化学机械抛光性能和老化效果
机译:铝纳米颗粒磨料浆料对钢基材的化学机械抛光
机译:铝合金薄膜的化学机械抛光:浆料化学性质和抛光机理
机译:用于铜和钽化学机械抛光的氧化铝/二氧化硅混合磨料浆的评估
机译:用于化学机械抛光的二氧化硅和二氧化铈纳米颗粒混合磨料浆料的胶体稳定性研究。
机译:化学抛光在锆合金TEM样品制备中的应用
机译:过氧化氢和氧化铝对柠檬酸浆料中铜化学机械抛光表面特性的影响