• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 中国专利> 化学机械平整方法、氧化铝粉浆料的用途和定制加工的磨料

化学机械平整方法、氧化铝粉浆料的用途和定制加工的磨料

页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 法律信息
  • 相似文献

摘要

本发明涉及一种CMP方法，它采用含有α氧化铝颗粒的氧化铝，所述氧化铝颗粒的宽度小于50nm，表面积至少为50m2/gm。

著录项

  • 公开/公告号CN100396749C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2008-06-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司;

    申请/专利号CN00813767.6

  • 发明设计人 A·K·加格;B·V·塔尼克拉;W·R·德莱尼;

    申请日2000-08-30

  • 分类号C09K3/14(20060101);C09G1/02(20060101);H01L21/321(20060101);

  • 代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;

  • 代理人张宜红

  • 地址 美国马萨诸塞州

  • 入库时间 2022-08-23 09:00:45

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-08-24

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C09K 3/14 授权公告日:20080625 终止日期:20170830 申请日:20000830

    专利权的终止

  • 2008-06-25

    授权

    授权

  • 2008-06-25

    授权

    授权

  • 2003-01-15

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2003-01-15

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2002-10-30

    公开

    公开

  • 2002-10-30

    公开

    公开

  • 2002-10-09

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2002-10-09

    实质审查的生效

    实质审查的生效

查看全部

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号