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滕伟; 穆海华; 周云飞;
华北电力大学能源动力与机械工程学院;
清华大学精密仪器与机械学系;
华中科技大学机械科学与工程学院;
工作台; 运动控制; 关键问题; 精度实现;
机译:自适应模糊控制器在非线性气动工作台运动控制中的应用
机译:2019年北约峰会:关于关键问题的广泛协议首脑会议被若干分歧所掩盖
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机译:微定位端级,用于光学光刻机中精确的多轴运动控制:初步结果
机译:开发用于改善表面质量和尺寸精度的无层增材制造立体光刻机
机译:非毒性梭状梭状芽孢杆菌(以前称为梭状芽胞杆菌)可预防艰难梭菌感染:从工作台到床边再到工作台再回到床边
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机译:光刻机工作台的移送机构及移送装置
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