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嵇钧生;
中国航空精密机械研究所;
集成电路; 高精度; 定位工作台; X射线; 光刻机;
机译:从最新案例中学到的精密定位设计技术:超精密XY工作台的精密定位技术
机译:电子束光刻机X-Y精密工作台升降机结构的特点
机译:超精密定位技术和设计要点的最新趋势说明5多轴传感器在精密定位中的应用
机译:高速精密定位XY工作台的动力学与控制建模与仿真
机译:空气润滑的超精密定位机构及其在X射线曝光设备中的应用,请参阅使用统计。
机译:将X射线相衬成像技术应用到主流应用中以及其卫星研讨会真实和互易空间X射线成像技术
机译:IC封装二自由度精密定位工作台控制系统研究
机译:模态分析在先进光刻机开发中的应用。
机译:X射线光刻机中改变成像比例的方法和装置
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