X射线干涉仪中单晶硅微动工作台的研制

摘要

目前国际上 X射线干涉仪所采用的微动工作台均采用对称式柔性铰链结构 ,其缺点是侧滑角大 ,严重影响干涉信号的对比度 ,很容易产生干涉条纹的记数误差。为此提出了非对称结构微动工作台的设计思想 ,并引入有限元方法进行了结构参数优化 ,研制了整体式 X射线干涉仪。理论分析和实验表明 :利用非对称结构研制的 X射线干涉仪 ,分析器的侧滑角显著下降 ,干涉信号的对比度大大提高 ,更适合