X線干渉計用30prad位置決め機構の開発とX線位相イメージングへの応用

摘要

X線位相イメージングへの応用を目的として，X線干渉計用の位置決め機構の開発を進めている．シンプルな構成と固体すべり機構による高い剛性のステージ，ドリフトを抑制するフィードバックシステム，及びアクティブ除振枚構の組み合わせにより，干渉計光学素子間の回転変動を30pradで安定化することができた．この結果，本機構を用いたイメージングシステムにより，生体軟部組織など密度差の小さい試料でも無造影で観察することが可能になった．