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熊小义; 刘志农; 张伟; 付玉霞; 黄文韬; 刘志弘; 陈长春; 窦维治; 钱佩信;
清华大学微电子学研究所;
SiGe; HBT; 制造工艺; 湿法腐蚀; 异质结双极晶体管; 超高真空低压化学汽相淀积; 硅锗;
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