纳米薄膜的光学参数及厚度提取方法研究

摘要

采用磁控溅射法在玻璃基底上分别制备了不同厚度的单层T iO2、A u纳米薄膜和双层T iO2/A u纳米薄膜,并测量了这些薄膜的透射光谱。通过设计计算机程序拟合透射光谱;获取了薄膜的折射率和消光系数随波长的变化曲线以及薄膜的厚度。这种拟合方法是以非线性约束优化理论为基础的,具有透射光谱易测量、计算精度高等特点。