带有光电子发射产额谱的表面分析联合谱仪

摘要

＜正＞ 一、引言我们研制的表面分析联合谱仪具有LEED,RHEED,AES和光电子发射产额谱仪（PYS）等表面分析器,并带有分子束外延设备以便进行亚原子层金属淀积和生长各种理想表面。这是非常适合半导体表面和界面研究的新型设备。本文介绍了此联合谱仪的结构和设计方案。此外,还给出PYS的调试和校准方法。