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雷星航; 王国政; 杨继凯;
长春理工大学物理学院,长春130022;
原子层沉积; 计算流体力学; 数值模拟; 前驱体分布;
机译:多尺度模拟研究原子层沉积过程中VO2薄膜生长用钒前驱体
机译:用三甲基铝和双氧前驱体通过等离子体增强原子层沉积法沉积氧化铝薄膜的研究:界面和结构性质的研究
机译:原子层沉积和化学气相沉积前驱体选择方法在锶钡钡前驱体中的应用
机译:X射线光电子能谱仪在Al_2O_3 / Ge界面原子层沉积过程中前驱体进入序列的影响
机译:使用叔丁基亚氨基三(二乙基氨基)钽金属有机前驱体的Ta基扩散阻挡层的化学气相沉积和原子层沉积
机译:工艺参数和前驱体脉冲比对原子层沉积La1-xAlxO3薄膜性能的影响
机译:前驱体立体化学对过渡金属铜原子层沉积过程中解离化学吸附和表面氧化还原反应影响的量子化学研究
机译:前驱体的研究及其在电致发光器件211薄膜原子层外延生长中的应用
机译:能够减少前驱体沉积的原子层沉积设备和使用该设备的原子层沉积工艺方法
机译:氢化硅前驱体对等离子体的原子增强原子层沉积(PEALD)
机译:使用原子层沉积前驱体的量子点图案化方法和使用该前驱体制造的显示设备
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