CVD法制备铝化物涂层装置沉积室内前驱体流场仿真设计研究

摘要

为了制备均匀的CVD铝化物涂层,应保证沉积室内前驱气体的流场分布的均匀性。采用计算流体力学方法对沉积室内的前驱流体流场进行了仿真研究,对比了装备A、B、C型3种布风装置的CVD沉积室内流场的变化;对比了将初始进气口平均流速v经验提升至其1.5,2.0,2.5,5.0倍后沉积室内流场的变化。结果表明:选择B型布风装置能令前驱气体均匀地从进气口流向沉积室内部,且被充分加热;前驱体的最大流速v_(max)在2.0 v经验≤v_(max)<2.5 v经验时可保证气流分布、温度分布的均匀性。利用此结果,指导设计了CVD沉积室的布风装置,同时探讨了提升前驱体流速对气体流场均匀性的影响。