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平慧慧; 顾皓; 袁雨辰; 庄黎伟; 许振良;
华东理工大学化工学院;
原子层沉积; 数值模拟; 覆盖率; 多孔基底; 反应扩散;
机译:SiO2和由分支界面有机层修饰的多孔Low-κ基底上的氮化钽原子层沉积的初始阶段:化学吸附和向稳态生长的转变
机译:通过全氟丙烷等离子体处理原子层沉积提高聚合物基底上沉积的Al_2O_3薄膜的疏水性
机译:使用乙醇作为乙醇作为前体反应物和表面预沉积处理的氧化锆基底选择性原子层沉积的基材选择性原子层沉积
机译:Pb(Zr,Ti)O X / INM>,薄膜通过二元原子层沉积方法的组合沉积原子层沉积
机译:薄膜应用的分子工程:区域选择性原子层沉积(ALD)和分子原子层沉积(MALD)。
机译:改善塞贝克系数的多孔模板中原子层沉积(ALD)纳米层压板热电薄膜合成的研究进展
机译:金属阻挡层和互连薄膜的生长和结构II:薄膜沉积在倾斜表面上的原子模拟
机译:阳极氧化铝模板原子层沉积法制备纳米多孔活性氧化铱薄膜
机译:在基板上产生隔离薄膜的过程包括基板上硅原子层的原子沉积,基板上硅原子层上的氧原子层和基板上金属原子层的原子沉积,金属原子层上的氧原子层的原子沉积。
机译:用原子层沉积法将氧化物薄膜浸入到卤化物中的卤化物掺杂源,制造卤剂掺杂物的方法,使用原子沉积法沉积到材料上的氧化物,用原子沉积法沉积的氧化膜,用原子方法沉积的薄膜用卤化物氧化薄膜
机译:用于原子层沉积的带有氧化物元素的氧化物薄膜部分的卤化物掺杂源,用于制造卤素掺杂源的方法,具有用于沉积的氧化物层的原子层材料的氧化物与薄膜的掺杂的方法用卤代氧掺杂氧化薄膜的方法
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