ICP-MS测定多晶硅基体中金属杂质的不确定度评定

摘要

建立ICP-MS测定多晶硅基体中金属杂质Cr、Fe、Ni、Cu、Zn含量的不确定度评定法是多晶硅分析检测行业所迫切需求的.从样品称量、样品溶液的体积变化、仪器测量标准曲线和样品溶液中各杂质元素的浓度、以及整个试验过程中测量重复性引入的不确定度进行分析评定,依次得出分量标准不确定度,以分量标准不确定度计算出合成标准不确定度,并应用A类不确定度评定法计算出测量结果的扩展不确定度,并得出检测结果的置信区间.