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溅射SnO2／α—Fe2O3薄膜的敏感特性研究

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摘要

薄膜元件应用前景广阔,为进一步探索多层薄膜元件的性能,我们对SnO_2及ZnO体系作了分析研究,得到了双层膜在灵敏度与选择性方面都明显优于单层膜的结论.本文介绍SnO_2/α-Fe_2O_3体系的实验结果.1 实验1.1

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来源
《传感技术学报》 |1993年第4期|51-54|共4页
作者
娄向东; 沈荷生;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TN304.210;
关键词
溅射; 二氧化锡; α－Fe2O3; 薄膜;

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