首页> 中文期刊>陶瓷学报 >磁控射频溅射Cu掺杂SnO2薄膜的气敏光学特性研究

磁控射频溅射Cu掺杂SnO2薄膜的气敏光学特性研究

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

采用磁控射频溅射的方法,在玻璃基片上制备SnO2及其掺杂薄膜.采用AFM和XRD分析薄膜的表面形貌与结构,对掺Cu的SnO2薄膜在常温丙酮气氛作用下,用UV分光光度计进行了气敏光学特性测试,研究结果表明:薄膜在常温下对丙酮气体具有明显的敏感效应,其反射率在可见光范围的某些波段有20%的变化.

著录项

来源
《陶瓷学报》|2008年第3期|217-220|共4页
作者
冯金垣; 郝延华;
展开▼
作者单位

华南理工大学物理科学与技术学院,广州:510641;

华南理工大学物理科学与技术学院,广州:510641;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类特种结构材料;
关键词
磁控射频溅射; SnO2; 丙酮气氛; 反射率;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 磁控反应溅射SnO2薄膜的气敏特性研究 [J] . 李朝林 . 电子元件与材料 . 2005,第001期
2. Cu/Sb掺杂SnO2纳米晶薄膜的H2S气敏特性 [J] . 龚树萍 ,邱原 ,周东祥 . 电子元件与材料 . 2007,第011期
3. 磁控反应溅射SnO2薄膜的气敏特性 [J] . 林秀芬 ,林永耀 . 功能材料 . 1993,第005期
4. SnO2薄膜的电学气敏特性与光学气敏特性研究 [J] . 杨菁菁 ,刘俊刁 . 化学传感器 . 1999,第002期
5. 反应磁控共溅射制备Ti掺杂的Cu3N薄膜的特性研究 [J] . 杨功胜 ,郭智文 ,顾广瑞 . 延边大学学报（自然科学版） . 2018,第001期
6. 磁控射频溅射Cu掺杂SnO2薄膜的气敏光学特性研究 [C] . . 第12届中国湿度与水分学术交流会暨第十届全国气湿敏传感器技术交流会 . 2008
7. 掺杂改性纳米晶SnO2薄膜制备及其气敏特性的研究 [A] . 刘宝丰 . 2009

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号