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张正元; 徐世六; 冯建; 胡明雨;
四川固体电路研究所军用模拟集成电路国防重点实验室,重庆400060;
可动部件; 硅薄膜; MEMS;
机译:基于多孔碳化硅薄膜在硅衬底上的超敏UV传感器
机译:场辅助横向结晶技术制备阵列图形多晶硅薄膜晶体管
机译:通过光刻和氧化硅衬底上的表面反应制备带图案的硅烷基自组装单层膜
机译:全息和湿法刻蚀技术在N型硅衬底上制备二维光子晶体
机译:绝缘体上硅衬底中的横向功率器件的物理和技术。
机译:纳米银胶体光刻技术在硅衬底上制备的抗反射纳米结构阵列。
机译:硅衬底上氮化硅薄膜的生长与表征
机译:冶金硅衬底上的硅薄膜 - 阶段II。专题报告第1号。多晶硅p-N结
机译:基于外延晶体硅薄膜的异质结太阳能电池在冶金硅衬底上的设计
机译:用于制造绝缘体上硅衬底以及半导体和显示装置的单晶硅衬底具有致密的氢注入区,该氢注入区提供了用于制造硅薄膜的分离区。
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