MEMS压力传感器批量组装设备的研制

荣伟彬; 陈立国; 孙立宁; 谢晖

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MEMS压力传感器批量组装设备的研制

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针对当前MEMS产业化推进过程中的小批量的发展现状,研究面向批量组装的MEMS微操作实用化系统具有重要实际价值.针对MEMS高温压力传感器产业化发展过程中的批量化键合工艺需求,从分析压力传感器键合工艺入手,研究批量组装关键技术,最后进行系统集成研制MEMS压力传感器批量组装设备.批量组装实验表明该系统可实现典型MEMS传感器批量组装,对MEMS产业化发展具有重要意义.

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来源
《传感技术学报》|2006年第5期|1847-1851|共5页
作者
荣伟彬; 陈立国; 孙立宁; 谢晖;
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作者单位

哈尔滨工业大学机器人研究所,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学机器人研究所,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学机器人研究所,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学机器人研究所,哈尔滨,150001;

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正文语种 chi
中图分类自动化技术及设备;
关键词
MEMS; 批量组装; 压力传感器;

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