公开/公告号CN113432777A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-09-24
原文格式PDF
申请/专利权人 歌尔微电子股份有限公司;
申请/专利号CN202110590117.X
申请日2021-05-28
分类号G01L13/00(20060101);G01L19/00(20060101);
代理机构11327 北京鸿元知识产权代理有限公司;
代理人王迎;袁文婷
地址 266000 山东省青岛市崂山区科苑纬一路1号青岛国际创新园二期F楼
入库时间 2023-06-19 12:42:10
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-02-28
授权
发明专利权授予
机译: 差动MEMS压力传感器具有陶瓷集管体和制造差动MEMS压力传感器的方法
机译: 制造MEMS压力传感器的方法以及相应的MEMS压力传感器
机译: 制造MEMS压力传感器的方法以及相应的MEMS压力传感器