首页> 中文期刊> 《电子产品可靠性与环境试验》 >MEMS压力传感器的可靠性评价方法

MEMS压力传感器的可靠性评价方法

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

MEMS压力传感器是用半导体制造工艺制备的微机械器件,是一种包含各种物理和化学理论的复杂系统,因而在评估其可靠性时不仅要考虑到传统的电学性能,还应该考虑其特殊的机械结构、材料力学等方面的的可靠性评价方法.概述了MEMS传感器产品最主要的失效现象,并着重介绍了常用的可靠性评价标准和测试项目.

著录项

来源
《电子产品可靠性与环境试验》 |2013年第5期|61-66|共6页
作者
鲍芳; 张德平;
展开▼
作者单位

苏州中咨工程咨询有限公司,江苏苏州215008;

工业和信息化部电子第五研究所,广东广州510610;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212.4+1;
关键词
压力传感器; 机械结构; 可靠性评价;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. MEMS压力传感器工艺可靠性测试评价 [J] . 马婷婷 ,马书嫏 ,张爱军 . 电子器件 . 2017,第006期
2. MEMS机油压力传感器可靠性研究 [J] . 关荣锋 . 微纳电子技术 . 2007,第7期
3. 高频响MEMS压力传感器设计与制备 [J] . 梁庭 ,薛胜方 ,雷程 . 仪表技术与传感器 . 2021,第006期
4. 高频响耐高温MEMS压力传感器封装工艺研究 [J] . 李瑜 ,刘志远 ,王晓光 . 传感器与微系统 . 2021,第005期
5. 基于MEMS侧面输出的压力传感器设计 [J] . 冯飞 ,续睿玲 ,秦丽 . 河北工业科技 . 2021,第002期
6. MEMS机油压力传感器可靠性研究 [C] . 关荣锋 . 第十届全国敏感元件与传感器学术会议 . 2007
7. MEMS高温压力传感器设计与制造工艺研究 [A] . 宋凤民 . 2020

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号