用于深空探测的MEMS压力传感器研究现状与发展趋势

摘要

人类对未知世界的探索渴望是推动社会发展的重要动力源泉,深空探测是探索未知世界的重要领域之一.文章简述了适用于深空探测的MEMS压力传感器的种类及敏感机理,详细论述了低量程MEMS电容式压力传感器(量程0～2000Pa,分辨率0.01Pa)研究成果(美国NASA、美国ISSYS公司、美国密西根大学、韩国首尔电予技术研究所、国内研究及中国首次火星探测)和成熟产品(MKS公司、INFICON公司、SETRA公司、HONEYMELL公司等)的工作原理、特点与技术优劣势,并分析了其关键性能指标;介绍了高精度高稳定性(精度±0.01％F.S.,稳定性±0.01％F.S./年)MEMS谐振式压力传感器的最新研究成果和产品(日本yokogawa公司、美国GE公司、美国Paroscientific公司、法国Thales公司、国内研究),并分析了其工作原理和技术特点与优劣势;最后探讨了适用于深空探测的MEMS压力传感器的发展趋势.