基于模组的MEMS压力传感器以及批量校准设备和校准工艺

摘要

本发明公开了基于模组的MEMS压力传感器。本发明还公开了基于模组的MEMS压力传感器批量校准设备，具体校准工艺如下：将传感器模组放在托盘进行上料，通过倍速链进行流转，通过低温数据采集工位进行常温校准参数采集，然后进入高温隧道炉，通过高温隧道炉将传感器模组快速升温到设定温度值，通过高温数据采集工位进行高温校准参数采集，再经倍速链运输至参数计算及烧录工位，通过RS485通信将系数计算并烧录，再通过下料取料工位自动下料到下料传送带上进行下料。通过模组校准，实现快速的升温与降温，不同工位采集数据相互独立，降低了校准工艺的复杂性，易于实现自动化。