分子束外延方法生长p型氧化锌薄膜

摘要

用等离子辅助分子束外延(P-MBE)的方法,在蓝宝石c-平面上外延生长了p型氧化锌薄膜.在实验中采用高纯金属锌作为zn源、NO作为O源和掺杂源,通过射频等离子体激活进行生长.在生长温度300℃,NO气体流量为1.0 sccm,射频功率为300W的条件下,获得了重复性很好的p型znO,且载流子浓度最大可达1.2×1019cm-3,迁移率为0.053 5 cm2·V-1·s-1,电阻率为9.5 Ω·cm.