低温微电子器件,电路和系统

摘要

本文概述了低温微电子学的研究与发展状况.低温将为微电子器件、电路和系统提供优化的工作环境,并极大地提高了器件、电路和系统的性能.高温超导薄膜技术的进展导致了超导/半导兼容电子学的勃起.可以相信,低温微电子器件、电路和系统以其具有的高速低功耗高可靠的特性,为GSIIC、超级计算机、空间和天文电子学、红外探测器等的发展所必需.