Ka波段分布式MEMS移相器低驱动电平容性开关的机电设计

摘要

为降低Ka波段分布式MEMS移相器容性开关的驱动电压,提出不同形状新型低弹性系数铰链梁结构MEMS电容开关的机电设计概念.采用IntelliSuiteTM和ADS软件分析了三种梁结构MEMS电容开关的位移分布、驱动电压、机械振动模式和射频性能等参数,结果表明:所设计新型beam2结构MEMS电容开关具有优越的机电特性和射频特性,即开关的驱动电压为3 V,机械振动模式固有频率都大于31 kHz,在35 GHz处插入损耗和回波损耗分别为0.082 dB和18.6 dB,而相移量可达到105.9o.