基于相移量机电耦合的分布式MEMS移相器工作电压的调整方法

摘要

本发明公开了一种基于相移量机电耦合的分布式MEMS移相器工作电压的调整方法，包括确定分布式MEMS移相器的结构参数、材料属性和电磁工作参数；确定工作电压标准值V₀和相移量标准值Δφ₀；施加2V₀的工作电压，测量M个MEMS桥中相移量Δφ_i；比较相移量测量值Δφ_i与标准值Δφ₀；当相移量测量值Δφ_i0，得MEMS桥有向上的高度误差，计算等效电路参数和工作电压调整量；当相移量测量值Δφ_i≤标准值Δφ₀，得MEMS桥向下高度误差或无误差，计算等效电路参数和高度误差值，计算工作电压的调整量；判断是否已对全部计算工作电压调整量；重新施加到相应的MEMS桥上，测量分布式MEMS移相器的整体相移量；判断调整工作电压后的分布式MEMS移相器电性能是否满足指标要求。本方法为实际工作的可靠性提供了理论指导。