中国科学院微电子研究所微波器件与电路研究室,北京,100029;
四川龙瑞微电子有限公司,成都,610041;
中国科学院微电子研究所微波器件与电路研究室,北京,100029;
中国科学院微电子研究所微波器件与电路研究室,北京,100029;
中国科学院微电子研究所微波器件与电路研究室,北京,100029;
中国科学院微电子研究所微波器件与电路研究室,北京,100029;
中国科学院微电子研究所微波器件与电路研究室,北京,100029;
中国科学院微电子研究所微波器件与电路研究室,北京,100029;
中国科学院微电子研究所微波器件与电路研究室,北京,100029;
中国科学院半导体研究所,北京,100083;
中国科学院半导体研究所,北京,100083;