用于MEMS器件低压封装的单金属丝压力测试技术

摘要

为实现MEMS微小腔体压强测量与监控,提出了基于单金属丝皮拉尼型低压测试方法.采用CFD-ACE+软件建立微型皮拉尼计有限体积模型,进行了仿真分析.基于四探针法原理,完成了不同尺寸和材料的金属丝压强测试和标定试验.测试结果表明:采用铂丝等单金属丝结构可以实现MEMS器件封装内部1 Pa～1000Pa压力检测.在测量范围内,金属丝直径越小,长度越长,加载电流越大,皮拉尼计灵敏度越高.