法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-12
授权
授权
2016-12-14
实质审查的生效 IPC(主分类):B81C1/00 申请日:20130423
实质审查的生效
2016-12-14
实质审查的生效 IPC(主分类):B81C 1/00 申请日:20130423
实质审查的生效
2016-11-16
公开
公开
2016-11-16
公开
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机译: 封装的MEMS器件和校准封装的MEMS器件的方法
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