CMOS LSI工艺/墨件技术的动向

摘要

本文着重分析了关于CMOS LSI工艺/器件技术研究与开发的主流趋势中所面临的主要技术课题,并就目前所进行的典型的对策进行了研究探讨。阐述了新时期对CMOS LSI工艺与器件技术及其应用所要做出的选择,并介绍了CMOS LSI未来新技术的发展方向。