光刻机多模态振动控制技术研究

摘要

本文提出一种三重动力吸振器减振方案,用于抑制光刻机顶部测量框架多阶模态峰值.首先,结合光刻机动力学架构和掩模台伺服误差,识别振源并确定受控模态参数;其次,根据受控模态参数,计算三重动力吸振器最优同调和最优阻尼比;最后,通过有限元仿真和试验模态,对该方案减振性能进行研究分析.结果 表明,该方法能有效抑制光刻机顶部测量框架的多阶模态振动幅值,试验结果与仿真结果吻合较好.