机译:带电粒子束光刻机,用于校正带电粒子束光刻机的失准因数的标准基板,带电粒子束光刻机的校正方法以及电子设备的制造方法
公开/公告号US2005211929A1
专利类型
公开/公告日2005-09-29
原文格式PDF
申请/专利权人 MASAKI KUROKAWA;
申请/专利号US20050090244
发明设计人 MASAKI KUROKAWA;
申请日2005-03-25
分类号G21G5/00;G01J1/00;H01J37/08;A61N5/00;
国家 US
入库时间 2022-08-21 22:24:01