机译:带电粒子束光刻机,用于校正带电粒子束光刻机的失准因数的标准基板,带电粒子束光刻机的校正方法以及电子设备的制造方法
公开/公告号US7164141B2
专利类型
公开/公告日2007-01-16
原文格式PDF
申请/专利权人 MASAKI KUROKAWA;
申请/专利号US20050090244
发明设计人 MASAKI KUROKAWA;
申请日2005-03-25
分类号H01L21/027;G03F7/20;
国家 US
入库时间 2022-08-21 21:01:00