晶圆制造中的自动化管理

摘要

作为先进制造业的典型代表,晶圆制造具有三大特性:资金密集,技术密集,产品复杂。在此环境下,计算机集成制造广泛应用于MES、Dispatch、传送、品质管理等各个方面,并不断向前发展。