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Quantitative Exposure Assessment of Various Chemical Substances in a Wafer Fabrication Industry Facility

机译:晶圆制造行业设施中各种化学物质的定量暴露评估

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摘要

ObjectivesThis study was designed to evaluate exposure levels of various chemicals used in wafer fabrication product lines in the semiconductor industry where work-related leukemia has occurred.
机译:目的本研究旨在评估发生与工作有关的白血病的半导体行业中晶圆制造产品线中使用的各种化学品的暴露水平。

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