晶圆组、晶圆的制造装置及晶圆的制造方法

摘要

本发明的一个课题在于，提供一种在各晶圆之间组成是变动的晶圆组，自该晶圆组制造的产品容易确保均匀性。本发明的另一个课题在于，提供一种技术，利用该技术能够排除形成OF时的不确定因素，并能够以极高的概率和极高的精度来形成OF。本发明提供晶圆组和与其相关的技术，该晶圆组由自同一个铸锭得到的多个晶圆构成，而且所有的晶圆都具有OF，其中，该晶圆组由70张以上的晶圆构成，各晶圆的OF方位精度在±0.010°以内。