机译:在半导体晶圆制造工厂中的扩散机上调度晶圆数量
Diffusion; heuristics; scheduling; tardiness; wafer fabrication;
机译:半导体晶圆制造设施的同时定单挂料和晶圆发布计划
机译:基于到期日期的半导体晶圆制造设备中批量分配的算法
机译:半导体晶圆制造厂的启发式调度策略:最小化周期时间的变化
机译:用于最小化半导体晶圆制造设备中的总体拖延的定单跟踪试探法
机译:使用实时反馈控制和预测对半导体晶圆制造进行车间调度。
机译:半导体晶圆键合技术在硅/石墨烯/硅双异质结构的制备中的应用
机译:晶圆制造设施中基于智能模拟的照相光刻工具批量调度
机译:半导体测量技术:使用sUXEs,spICE和sTaT2评估芯片,晶圆或批次。