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董君; 叶春明;
上海理工大学管理学院 上海200093;
河南工学院 河南新乡453000;
学习效应; 异质性机器; 半导体晶圆制造; 绿色调度;
机译:半导体晶圆绿色制造与维护的两阶段联合优化问题研究
机译:晶圆仓图的相似度匹配可提供制造智能,从而使Industry 3.5具有半导体制造能力
机译:半导体晶圆制造设施的同时定单挂料和晶圆发布计划
机译:半导体晶圆制造热点问题研究
机译:使用实时反馈控制和预测对半导体晶圆制造进行车间调度。
机译:磁性微传感器具有两个磁场效应晶体管使用商业互补金属氧化物半导体工艺制造
机译:半导体晶圆制造中具有时间约束和批处理的容量确定模型
机译:用于半导体晶圆分析的全晶圆宏观检测软件方法的开发
机译:包括具有气体鼓风机的晶圆载体转移机器人的半导体制造设备,该晶圆用于保护晶圆的质量变化
机译:包含第一和第二DOE的半导体晶圆的制造和使用方法,该晶圆具有与单元兼容的,具有NCEM功能的标准单元兼容的第一DOE,其中第一DOE包括倒角短配置的填充单元,第二DOE包括短角配置的填充单元
机译:碳化硅表皮晶圆,制造碳化硅表皮晶圆的装置,制造碳化硅表皮晶圆的方法以及半导体装置
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