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莫尔条纹技术应用于掩模－硅片的自动对准

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简要回顾了莫尔条纹技术在光刻机的掩模－硅片对准系统中的应用，介绍了国际上该项技术的应用现状，分析了其优势和局限性，对今后的发展方向作了简要的概括．

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来源
《航空精密制造技术》|1994年第5期|P.6-9|共4页
作者
陈计金;
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作者单位

中国航空精密机械研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光刻、掩膜;
关键词
掩模; 莫尔条纹; 光刻机; 套刻; 投影物镜; 衍射光; 对准精度; 标记线; 光栅结构; 光刻胶;

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