摘要：介绍了光学八倍频差干涉测量系统。为了获得二维光学信号,提出了一种耦合差动式干涉的新方法,并据此设计了一套光学8倍频的耦合差动式干涉光路,其结构设计简洁紧凑,光路布局对称性好,光程差倍增,符合阿贝原则和结构变形最小原则;采用大位移超微动连续可控式压电电动机作为纳米驱动装置,并优化设计了控制系统,使电动机运动更为合理、平稳;在干涉信号处理方面,设计制作出了干涉信号处理电路,采用Heydemann模型对误差进行了补偿,计算出实际位移量;最后对整个系统的精度在理论分析的基础上进行估算,干涉仪综合精度的理论值±2.5nm左右;并采用与电容测微仪比对的方法对该系统进行检测,在获取大量测量数据的基础上,利用线性回归的方法对测量结果进行处理。实验结果表明:该干涉测量系统的精度为10-12nm。
