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构建金刚石金属氧化物半导体场效应管的全新概念

         

摘要

近期,由法国、英国、日本研究人员组成的国际研究团队开发出在硼掺杂金刚石MOSFET中引入深层耗尽区的新方法。这一全新概念的提出,使金刚石MOSFET的结构更为简单,降低了制造难度。验证表明,新方法可将宽禁带半导体的载流子迁移率提高一个数量级。

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