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高艳涛; 张晓丹; 赵颖; 孙建; 朱峰; 魏长春;
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津,300071;
甚高频等离子增强化学气相沉积; 本征微晶硅; 激发频率;
机译:总气体流速对VHF-PECVD制备的微晶硅膜的影响
机译:氢气稀释对VHF-PECVD制备的微晶硅薄膜性能的影响
机译:动量对脉冲直流反应溅射制备钛-硅-氮纳米晶复合材料材料性能的影响。
机译:固定化离子液体对原位聚合制备的可生物降解多己内酯/ LDH纳米复合材料性能的影响及熔融共混技术
机译:VHF-PECVD法制备微晶硅薄膜的电子输运性质
机译:通过光CVD(化学/气相沉积)和辉光放电制备的微晶硅 - 碳p层的研究:最终转包报告,1987年12月1日 - 1988年11月30日。
机译:压力传感器具有一个共振束,该共振束以共振频率激发,该共振频率取决于压力膜的变形,并且该束要经过交替激发和测量
机译:超声声辐射激发,用于超声材料性能测量和成像
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