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张晓丹; 高艳涛; 赵颖; 朱锋; 魏长春; 孙建; 耿新华; 熊绍珍;
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所;
天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室;
光电信息技术科学教育部重点实验室;
甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD); 微晶硅; 衬底温度;
机译:VHF-PECVD制备本征微晶硅薄膜的活化能研究
机译:通过VHF-PECVD沉积的高导电性掺硼微/纳米晶硅薄膜,用于太阳能电池应用
机译:VHF-PECVD法沉积微晶硅薄膜的光稳定性
机译:通过VHF-PECVD制备的玻璃上的硼掺杂微晶硅薄膜的微结构和电气演进
机译:氢化非晶硅,微晶硅和硅基合金薄膜的沉积和表征。
机译:微孪晶和纳米孪晶解释了硅纳米线和硅薄膜中的奇数电子衍射图
机译:VHF-PECVD法制备微晶硅薄膜的电子输运性质
机译:添加到阅览室阅读软件下载与<<辉光放电分解制备离子镀和氢化非晶硼薄膜制备氢化非晶硅薄膜及其表征>>相似的文献。最终报告,1980年4月1日至1981年5月31日
机译:含硅微晶硅薄膜及其制备
机译:使用含氯微晶硅的自对准非晶硅薄膜晶体管及其制造方法
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